產品特色
● 多功能。監控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
● 連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。
● 耐用。21Q系列高壓氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環境影響的耐受性，我們可以為您的質量流量控制器構建IP66等級防護。
精度升級
量程為10 SCCM - 3000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度 ± 0.6%讀數 或± 0.1%滿量程（取值）
測量和控制范圍 0.1 ~ 99%滿量程
重復性 ± 0.1%滿量程
質量流量零點漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃溫差
± 0.01%滿量程/ Atm壓力差
質量流量量程漂移 ± 0.01%讀 數/ ℃溫差
± 0.1 %讀 數/ Atm壓力差
技術指標
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了98種氣體，請參考氣體兼容表
一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量 程 從0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM（）
測量和控制范圍 0.5% ~ 99%滿量程
顯示流量 高達128%滿量程（取決于氣體）
可控流量 102.4%滿量程
顯 示 屏 帶集成觸摸板的單色LCD或彩色TFT顯示器
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力和溫度
精 度 ± 2%滿量程 精度升級見上段
重 復 性 ± 2%滿量程
零點漂移&滿量程漂移 0.02% 滿量程/ ℃/ Atm
響應時間 優于100 ms
預熱時間 ＜1s
標定工況 25 ℃&1Atm（其它標況可調）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫選項至100℃）
溫度精度 ± 0.75℃
工作濕度 0 ~ 99%
工作壓力 320 psia
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數據刷新頻率 數字信號40Hz@19200波特率；
模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10Hz
數字輸入/輸出信號 RS-232、RS-485、Modbus RTU、PROFIBUS、EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差
供電電壓 12 - 30 VDC （15 - 30 VDC用于4 - 20 mA輸出）
供電電流 0.250 A
電氣接口 DB9，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN、8-pin M12
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質 303和302不銹鋼、Viton®、熱固化硅橡膠、玻璃增強聚苯硫醚、熱固化環氧樹脂、鋁、金、黃銅、430FR 不銹鋼、硅、玻璃。如果您申請需要其它材料，請聯系我們。
過程連接 詳情參考壓損表
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
*如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢
