中圖儀器光纖激光尺：半導體與超精密加工在機檢測閉環解決方案

內容概要：本文介紹了中圖儀器2026版PLR3000光纖激光尺及其在半導體與超精密加工領域的在機檢測閉環解決方案。該產品基于邁克爾遜干涉原理，采用熱源分離設計，通過光纖連接探頭與主機，實現“冷光探測”，有效克服傳統位置反饋設備存在的熱漂移、安裝空間受限和阿貝誤差等瓶頸。

核心技術指標包括0.02ppm穩頻精度、1nm分辨率和20MHz采樣頻率，確保納米級測量精度與高速動態響應。系統架構上構建“離線標定+在機反饋”閉環，結合SJ系列激光干涉儀進行初始誤差標定，并將PLR3000集成至設備控制環路，實現實時位置反饋與誤差補償，配合PO系列測頭可完成工件自動找正與加工過程實時監控。典型應用涵蓋光刻機工作臺、超精密光學加工、電鏡載物臺等領域，提升復雜工況下的系統精度與穩定性。

半導體光刻機晶圓臺應用

超精密機床光學元件加工應用

適合人群：從事精密裝備制造、半導體設備研發、超精密加工工藝開發的技術人員及工程研究人員，具備一定光學測量與自動化控制基礎知識的專業人員。

使用場景及目標：

①解決高精度運動平臺因熱變形、機械爬行導致的定位不準問題；

②構建閉環控制系統，實現加工過程中的實時誤差補償與在機檢測；

③替代傳統光柵尺，提升設備長期穩定性與納米級控制能力。

閱讀建議：此資料側重于高精度測量系統的工程化應用，建議結合實際設備集成案例深入理解其架構設計邏輯，并關注熱隔離、阿貝誤差消除等關鍵技術在具體場景中的實施方法。