探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的2D及3D 輪廓掃描,以及翹曲度和應力的2D測量。探針測量技術的一個優點是它是一種直接測量,
與材料特性無關。 可調節的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行精確測量。
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