聚焦產(chǎn)業(yè)前沿，超精密光學(xué)與微納加工跨越精度極限

　　隨著高端制造、半導(dǎo)體檢測、生物醫(yī)療、AR/VR等前沿領(lǐng)域?qū)鈱W(xué)系統(tǒng)性能要求的持續(xù)攀升，傳統(tǒng)光學(xué)元件的加工極限正被不斷突破。微納加工技術(shù)憑借其亞微米乃至納米級的圖形轉(zhuǎn)移與結(jié)構(gòu)制備能力，已成為光學(xué)元件高端化、功能集成化的核心抓手。當(dāng)前，超精密光學(xué)產(chǎn)業(yè)正經(jīng)歷三大關(guān)鍵躍遷：加工精度從μm級向nm級跨越、國產(chǎn)超精密設(shè)備加速替代進(jìn)口、光學(xué)元件向微型化與集成化深度演進(jìn)。
 

　　將于9月9-11日在深圳國際會展中心舉辦的CIOE精密光學(xué)展&攝像頭技術(shù)及應(yīng)用展，正是匯聚超精密加工領(lǐng)域創(chuàng)新力量、打通技術(shù)堵點、洞察產(chǎn)業(yè)升級方向的關(guān)鍵平臺。>>即刻報名觀展
 

Ø 精度躍遷：從μm級到nm級的加工能力突破
 

　　超精密光學(xué)加工的核心目標(biāo)，是實現(xiàn)光學(xué)元件面形精度與表面粗糙度的數(shù)量級突破。長期以來，傳統(tǒng)研磨拋光技術(shù)受限于工具磨損與去除不確定性，加工精度始終停留在微米級，難以滿足前沿領(lǐng)域的高端需求。隨著確定性加工技術(shù)的突破性發(fā)展，這一局面得到根本性改變：離子束修形可實現(xiàn)原子量級去除，面形收斂精度優(yōu)于λ/50；磁流變拋光技術(shù)讓表面粗糙度達(dá)到0.5nm RMS以下；單點金剛石車削配合納米級氣浮主軸，可在有色金屬和紅外晶體上直接加工出納米級光潔表面。與此同時，光學(xué)玻璃與晶體材料的配方及熔煉工藝持續(xù)優(yōu)化，為高精度加工提供了更優(yōu)質(zhì)的基底支撐。不過，大口徑非球面、自由曲面的全頻段誤差控制，以及硬脆材料的亞表面損傷抑制，仍是當(dāng)前產(chǎn)業(yè)亟待突破的關(guān)鍵難題。
 

　　產(chǎn)業(yè)鏈在上述方向取得了一系列突破：在確定性加工裝備領(lǐng)域，美國Precitech的超精密單點金剛石車床可實現(xiàn)亞微米級形狀公差與納米級表面粗糙度，去年其全球客戶解決方案中心啟用，為復(fù)雜光學(xué)曲面加工提供系統(tǒng)化平臺。在光學(xué)材料領(lǐng)域，康寧推出2.0高折射率玻璃，可幫助AR/MR可穿戴設(shè)備實現(xiàn)更寬廣的視場角，晶圓直徑涵蓋150毫米、200毫米和300毫米。國內(nèi)方面，長沙埃福思科技(ÅFiSy)深耕超高精度離子束拋光裝備，先后推出多款新型離子束拋光機，最大加工零件尺寸從300mm到2m不等。設(shè)備采用非接觸式原子級去除原理，加工精度達(dá)埃米(0.1nm )級。加工面形精度優(yōu)于 λ/50 PV、λ/1000 RMS(λ=632.8nm)。可加工平面、球面、非球面、離軸面及自由曲面，適配微晶玻璃、ULE、融石英、藍(lán)寶石、單晶硅等多種材料，成功打破國外在超高精度離子束拋光領(lǐng)域的長期壟斷，為航空航天、高功率激光、半導(dǎo)體光刻等尖端領(lǐng)域提供核心國產(chǎn)裝備支撐。
 

　　Ø 設(shè)備自主：國產(chǎn)超精密加工裝備加速替代進(jìn)口
 

　　超精密加工裝備是光學(xué)元件制造能力的基石。長期以來，高端單點金剛石車床、磁流變拋光機、離子束修形設(shè)備以及超精密磨床等核心裝備高度依賴進(jìn)口。近年來，國內(nèi)裝備企業(yè)在主軸回轉(zhuǎn)精度、靜壓導(dǎo)軌技術(shù)、在位測量與補償、環(huán)境熱穩(wěn)定性等關(guān)鍵領(lǐng)域持續(xù)突破。五軸聯(lián)動機床的定位精度從±5μm提升至±2μm甚至更高；國產(chǎn)飛秒激光加工站實現(xiàn)了硬脆材料的無熱損傷微加工；數(shù)控研磨拋光設(shè)備開始集成機器人自適應(yīng)拋光與工藝數(shù)據(jù)庫。與此同時，超硬材料工具的自主化，為硬脆材料高效低損傷加工提供了新路徑。
 

　　在超精密磨削裝備領(lǐng)域，江蘇優(yōu)普納深耕核心技術(shù)自研，集成油靜壓軸系、氣浮主軸與納米級智能數(shù)控系統(tǒng)，打造高端光學(xué)非球面復(fù)合磨床。產(chǎn)品聚焦光學(xué)、光通信以及半導(dǎo)體領(lǐng)域超精密模具加工場景，關(guān)鍵加工精度優(yōu)異，工件面形 PV 值≤0.15μm，表面粗糙度 Ra<5nm，技術(shù)水準(zhǔn)躋身國際前沿行列。
 

　　海普超精(北京海普瑞森)專注超精密高端裝備制造，攻克靜壓技術(shù)關(guān)鍵難題，實現(xiàn)靜壓主軸、轉(zhuǎn)臺、導(dǎo)軌等核心部件自主生產(chǎn)。搭載自研數(shù)控系統(tǒng)與加工軟件，形成裝備研發(fā)、整機制造、工藝服務(wù)完整閉環(huán)。海普超精聚焦航空航天、精密光學(xué)、半導(dǎo)體等高端領(lǐng)域，深耕高端精密機床及成套裝備研發(fā)生產(chǎn)，堅持自主創(chuàng)新，以全鏈條制造優(yōu)勢，打造國產(chǎn)超精密裝備標(biāo)桿，助力國家高端制造發(fā)展。
 

　　博眾泰達(dá)(哈爾濱市博眾泰達(dá)光學(xué)精密有限公司)依托哈工大專業(yè)科研團(tuán)隊，深耕超精密加工領(lǐng)域。依托國家級科研項目成果，專注高端精密裝備研發(fā)、生產(chǎn)與技術(shù)服務(wù)，擁有納米級核心技術(shù)，核心產(chǎn)品覆蓋超精密金剛石單點車床、輥筒模具加工機床、自由曲面測量機、立磨UPG650等，技術(shù)指標(biāo)達(dá)納米級精度，可實現(xiàn)關(guān)鍵裝備進(jìn)口替代，廣泛應(yīng)用于光學(xué)、半導(dǎo)體、航空航天等領(lǐng)域。
 

　　華粹智能裝備有限公司專注納米級超精密車削 / 磨削裝備，自研液體靜壓導(dǎo)軌 + 空氣靜壓主軸 + 高精度運動控制系統(tǒng)，主打 UPC 系列超精密單點金剛石車床與五軸超精密加工中心。可對銅、鋁、單晶鍺、硒化鋅、樹脂等材料實現(xiàn)平面、球面、非球面、離軸曲面及自由曲面的光學(xué)級加工，面形精度達(dá)納米級、粗糙度可達(dá)亞納米級，可加工微透鏡陣列、菲涅爾透鏡等微結(jié)構(gòu)元件，廣泛服務(wù)于光學(xué)、半導(dǎo)體、航天與紅外成像領(lǐng)域。
 

　　四川神工科技（科研院所成果轉(zhuǎn)化平臺)深耕超精密光學(xué)加工裝備三十載，自研超精密單點金剛石車床、磁流變拋光機床、高精度數(shù)控磨床三大核心系列，搭配自主超精密運動與控制系統(tǒng)。其磁流變拋光設(shè)備專用于高陡度曲面光學(xué)元件，面形 RMS≤2 nm、Ra≤0.3 nm；高精度磨床可穩(wěn)定實現(xiàn)圓度優(yōu)于 0.5 μm，對標(biāo)國際禁運級裝備水平。產(chǎn)品覆蓋大口徑光學(xué)元件、半導(dǎo)體晶圓、紅外光學(xué)零部件，是國產(chǎn)超精密裝備核心供應(yīng)商，連續(xù)多年亮相中國光博會。
 

　　
 

　　Ø 微型化與集成化：晶圓級微納加工，驅(qū)動元件形態(tài)變革
 

　　消費電子、AR/VR、光通信等領(lǐng)域?qū)ξ⑿突㈥嚵谢⒓苫钠惹行枨螅尵A級微納加工技術(shù)應(yīng)運而生：通過納米壓印光刻、灰度光刻、反應(yīng)離子刻蝕等半導(dǎo)體工藝，在整片玻璃或硅晶圓上批量復(fù)制微透鏡陣列、衍射光學(xué)元件、超構(gòu)表面等微納結(jié)構(gòu)，單片晶圓可產(chǎn)出數(shù)千乃至數(shù)萬個微型光學(xué)元件，大幅降低單件成本。此外，玻璃晶圓異形成型、晶圓級鍍膜與切割一體化工藝的成熟，使得光學(xué)元件能夠與傳感器、光源等實現(xiàn)高精度混合集成。然而，大面積納米壓印的模板壽命與均勻性、晶圓級模壓的溫度與應(yīng)力控制、多材料復(fù)合晶圓的鍵合可靠性等仍是產(chǎn)業(yè)難點。
 

　　產(chǎn)業(yè)界已在相關(guān)領(lǐng)域取得多項技術(shù)突破，為微型化與集成化發(fā)展注入強勁動力：在AR光學(xué)材料領(lǐng)域，德國肖特AR全系列光學(xué)解決方案，其幾何反射式波導(dǎo)已實現(xiàn)全球首批量產(chǎn)，制程良率超90%；在納米壓印裝備領(lǐng)域，天仁微納推出310mm方片全自動納米壓印生產(chǎn)線，其納米壓印光刻系統(tǒng)可實現(xiàn)優(yōu)于10nm精度、優(yōu)于10:1高深寬比的納米結(jié)構(gòu)復(fù)制量產(chǎn)，特別適用于AR光波導(dǎo)衍射光柵、微透鏡陣列等微納結(jié)構(gòu)的規(guī)模化生產(chǎn)。
 

　　Ø 超精密加工全鏈聚合高地，關(guān)鍵資源一站獲取
 

　　即將于9月9-11日在深圳國際會展中心舉辦的CIOE精密光學(xué)展&攝像頭技術(shù)及應(yīng)用展，作為光學(xué)產(chǎn)業(yè)鏈極具影響力的專業(yè)展會，匯聚了超精密光學(xué)與微納加工領(lǐng)域的全鏈條核心力量——覆蓋從超精密加工設(shè)備、微納壓印設(shè)備、光學(xué)模具，到光學(xué)微透鏡陣列、衍射光學(xué)元件、自由曲面光學(xué)元件、光學(xué)精密結(jié)構(gòu)件等完整環(huán)節(jié)。
 

　　展會聚焦超精密光學(xué)三大躍遷方向。精密光學(xué)展加工館將展出超精密單點金剛石車床、磁流變拋光設(shè)備、離子束修形系統(tǒng)、納米壓印光刻機、飛秒激光加工站、高精度磨拋機等核心裝備；在光學(xué)元件領(lǐng)域，晶圓級微透鏡陣列、自由曲面棱鏡、超構(gòu)表面、二元光學(xué)元件等創(chuàng)新產(chǎn)品將悉數(shù)亮相。
 

　　核心器件與配套工藝是超精密光學(xué)技術(shù)躍遷的“引擎”。展會重點涵蓋高剛度超精密空氣主軸、直線電機、納米級光柵尺、高速高精度伺服控制系統(tǒng)等核心部件。同時，AI+光學(xué)檢測方案通過深度學(xué)習(xí)算法自動識別表面缺陷、實時補償加工路徑，推動超精密加工向智能化演進(jìn)。
 

　　部分參展企業(yè)包括中光學(xué)集團(tuán)、新華光、北方光電、成都光明、海創(chuàng)光學(xué)、海泰新光、格奧光電、百盛光電、波長光電、國光光學(xué)、豪雅光電、肖特、小原光學(xué)、菲利華、福晶科技、長飛石英、戈碧迦、日本尼康、太洋科技、微米光學(xué)、晨征光電、凱鑫光電、高施光電、宇川光學(xué)、巨程智造光電、首量科技、光研科技、高特光電、瑞森光學(xué)、至臻精密光學(xué)、赫瑞特、星海光電、芝浦機械、施耐德電氣、大昌洋行、善能精密、大敏尚東、朗信光學(xué)、錫斌光電、恒泰光學(xué)等都將帶來新技術(shù)、新產(chǎn)品。
 

　　*僅為部分企業(yè)，排名不分先后
 

　　Ø 同期會議：微納光學(xué)與精密加工的突破與協(xié)同
 

　　展會同期舉辦“2026全球精密光學(xué)智能制造論壇” 融合光學(xué)產(chǎn)業(yè)鏈，探索光學(xué)新型技術(shù)及應(yīng)用。其中“超精微/納米光學(xué)制造技術(shù)論壇” 聚焦自由曲面與超構(gòu)表面，探討超透鏡設(shè)計制造、大口徑及動態(tài)可調(diào)諧技術(shù)、納米級加工設(shè)備與智能補償算法、跨尺度檢測方案，共破規(guī)模化制造瓶頸，描繪微/納米光學(xué)從設(shè)計到量產(chǎn)的藍(lán)圖；“納米壓印制造技術(shù)論壇”圍繞納米壓印的高分辨、低成本、三維成型優(yōu)勢，聚焦模板技術(shù)、新型壓印材料與工藝、大面積缺陷控制等議題，破解高精度模板制造與使用壽命瓶頸，拓展納米壓印在存儲芯片、AR/VR光波導(dǎo)、先進(jìn)封裝等領(lǐng)域的應(yīng)用邊界；“2026精密光學(xué)注塑、模壓非球面加工技術(shù)會議”關(guān)注光學(xué)注塑與模壓非球面技術(shù)的高效量產(chǎn)優(yōu)勢，邀請產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)發(fā)布最新技術(shù)與產(chǎn)品，探討行業(yè)熱點，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)對接與合作。>>查看會議一覽表
 

　　Ø 三展聯(lián)動，一證通覽，賦能全產(chǎn)業(yè)鏈融合
 

　　超精密光學(xué)與微納加工正處在技術(shù)突破與產(chǎn)業(yè)協(xié)同的關(guān)鍵節(jié)點，每一步跨越都離不開產(chǎn)業(yè)鏈的深度協(xié)同。CIOE精密光學(xué)展&攝像頭技術(shù)及應(yīng)用展匯聚光學(xué)元件及材料、鏡頭及模組、鍍膜、機器視覺、AR&VR、光學(xué)測量等光學(xué)全產(chǎn)業(yè)鏈板塊，搭建起完善的光學(xué)產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈，助力企業(yè)實現(xiàn)資源對接、優(yōu)勢互補。
 

　　本屆展會還與IICIE 國際集成電路創(chuàng)新博覽會、elexcon 深圳電子展同期同地盛大舉辦，觀眾持一證即可高效便捷參觀三展，一站式了解從核心零部件到光學(xué)加工設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備的最新技術(shù)與發(fā)展趨勢，深度賦能光電、半導(dǎo)體與電子全產(chǎn)業(yè)鏈融合互通，推動超精密光學(xué)技術(shù)與下游應(yīng)用領(lǐng)域深度綁定，加速產(chǎn)業(yè)規(guī)模化發(fā)展。
 

　　CIOE精密光學(xué)展&攝像頭技術(shù)及應(yīng)用展不僅是觀察超精密光學(xué)與微納加工技術(shù)演進(jìn)的前沿窗口，更是連接產(chǎn)業(yè)上下游、推動技術(shù)轉(zhuǎn)化、實現(xiàn)全鏈協(xié)同的關(guān)鍵樞紐。9月9-11日，深圳國際會展中心，期待與您共赴高精度光學(xué)制造的新時代之約。
 

　　關(guān)于CIOE中國光博會：
 

　　第二十七屆中國國際光電博覽會(CIOE中國光博會)將于2026年9月9-11日在深圳國際會展中心舉辦。作為覆蓋光電全產(chǎn)業(yè)鏈的綜合型展會，CIOE中國光博會匯聚了來自全球超30個國家和地區(qū)的超4000家的優(yōu)質(zhì)參展企業(yè)，覆蓋信息通信、精密光學(xué)、攝像頭技術(shù)及應(yīng)用、激光及智能制造、紅外、紫外、智能傳感、新型顯示、AR & VR、光電子創(chuàng)新等，從產(chǎn)業(yè)到終端應(yīng)用，是助力尋找研發(fā)和生產(chǎn)制造中所需要的材料、器件、設(shè)備及解決方案的一站式高效采購平臺。
 

　　關(guān)于CIOE精密光學(xué)展&攝像頭技術(shù)及應(yīng)用展：
 

　　CIOE精密光學(xué)展&攝像頭技術(shù)及應(yīng)用展是亞太地區(qū)極具影響力的光學(xué)行業(yè)專業(yè)展覽會，展會匯聚光學(xué)元件及材料、鏡頭及模組、鍍膜、機器視覺、AR&VR、光學(xué)測量等光學(xué)全產(chǎn)業(yè)鏈板塊的優(yōu)質(zhì)企業(yè)，搭建光學(xué)產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈，助力消費電子、先進(jìn)制造、安防、醫(yī)療等光學(xué)下游應(yīng)用企業(yè)挖掘行業(yè)新應(yīng)用及新需求，進(jìn)行商貿(mào)溝通達(dá)成商業(yè)合作，獲悉前沿應(yīng)用、洞察新興趨勢。